仪器简介:

英文名称：Scanning Electron Microscope(SEM)
定义1:用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。
定义2:应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射 线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁 场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微 观形貌的信息;对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

主要功能及应用:

功能：二次电子成像、背散射电子成像、阴极发光照相
应用：样品外形貌、背散射分析，锆石等矿物的阴极发光照相

设备照片:

仪器的主要特性：

二次电子分辨率：小于3.5nm（30kV，高真空）、小于10nm（3kV，低真空），背散射电子分辨率：小于5.0nm（30kV，低真空）；
放大倍数：20倍～300000倍；
真空度：高真空≤1Pa，低真空：6～270Pa；
加速电压：0.5～30kV，连续可调；
图片存储：640×480～5120×3840pixels多种规格。

仪器的主要附件：

背散射探头（Robinson Detector)
阴极发光探头（ChromaCL）